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新沂市聚英取得全从动石英舟托上下料机专利削
专利摘要显示,公开了一种全从动石英舟托上下料机,包罗箱体,所述动弹盘的顶端动弹毗连无机械臂,所述机械臂的外部动弹毗连有跟尾块,所述跟尾块的一侧内部滑动毗连有毗连环,所述毗连环的前侧固定毗连有容纳盒,所述容纳盒的前侧固定毗连有支持架,所述电机的驱动端固定毗连有蜗杆,所述支持架的一侧内部动弹毗连有两个蜗轮,所述蜗轮的外部固定毗连有跟尾杆。本适用新型中,避免因刚性接触而发生刮擦,确保后续石英舟和硅片放置平稳,削减石英舟和硅片受损的风险,提高了夹紧的精准度取不变性。
国度学问产权局消息显示,授权通知布告号CN223816370U,申请日期为2025年1月。